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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

當前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>臺階儀>> NS200臺階儀探針式表面輪廓儀

臺階儀探針式表面輪廓儀

參  考  價: 600000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號:NS200

品       牌:中圖儀器

廠商性質:生產商

所  在  地:深圳市

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更新時間:2025-03-08 21:59:59瀏覽次數:1290次

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羅健

經理
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產地 國產 加工定制
中圖儀器NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。它可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

中圖儀器NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。它可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

臺階儀探針式表面輪廓儀

主要組成部分

1、測量系統

(1)單拱龍門式設計,結構穩定性好,而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。

(2)線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

(3)傳感器設計使得在單一平臺上即可實現超微力和正常力測量。測力恒定可調,以適應硬質或軟質材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實現無接觸損傷的精準接觸式測量。

2、工件臺

(1)精密的XY平臺結合360°連續旋轉電動旋轉臺,可以對樣品的位置以及角度進行調節,三維位置均可以調節,利于樣品調整。

(2)超高直線度導軌,有效避免運動中的細微抖動,提高掃描精度,真是反映工件微小形貌。

3、成像系統

500萬像素高分辨率彩色攝像機,即時進行高精度定位測量。可以將探針的形貌圖像傳輸到控制電腦上,使得測量更加直觀。

4、軟件系統

測量軟件包含多個模塊。

5、減震系統

防止微小震動對測量結果的影響,使實驗數據更加準確。

臺階儀探針式表面輪廓儀

典型應用

臺階儀探針式表面輪廓儀

性能特點

NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

性能特點

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率,結合單拱龍門式設計降低環境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復性;

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調,以適應硬質或軟質樣品表面,采用超低慣量設計和微小電磁力控制,實現無接觸損傷的接觸式測量;

3.超平掃描平臺

系統配有超高直線度導軌,杜絕運動中的細微抖動,真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。


部分技術指標

型號NS200
測量技術探針式表面輪廓測量技術
樣品觀察光學導航攝像頭:500萬像素高分辨率 彩色攝像機,FoV,2200*1700μm
探針傳感器
超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
單次掃描長度55mm
樣品厚度50mm
載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
臺階高度重復性5 ?, 量程為330μm時/ 10 ?, 量程為1mm時(測量1μm臺階高度,1δ)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環境

相對濕度:濕度 (無凝結)30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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